SKN-GP500射频磁控溅射系统（Sputerring）：
射频磁控溅射系统利用电离的Ar+离子，在磁场作用下轰击靶材，带电纳米离子在磁场作用下偏转，中性粒子在衬底上成膜。
磁控溅射有两种模式，直流模式溅射金属材料，射频模式溅射氧化物材料。薄膜生长速率快、可靠性好、厚度可原位检测。