方案简介 |
瑞士3D纳米结构高速直写机-NanoFrazor Explore——兼顾纳米光刻与微米光刻的联合图形化工艺方案瑞士NanoFrazor光刻技术,衍生于IBM Research研发的热扫描探针光刻技术——快速、精准地控制纳米针尖的移动及温度,利用热针尖实现对热敏抗刻蚀剂的快速精准刻写,从而为纳米制造提供了许多新颖的、独特的可能性。瑞士Swisslitho公司的NanoFrazor Explore以超高的速度、精度和可靠性运行,速度超快,应用广泛。NanoFrazor Explore配备了 ... |