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瑞士3D纳米结构高速直写机-NanoFrazor Explore——兼顾纳米光刻与微米光刻的联合图形化工艺方案瑞士NanoFrazor光刻技术，衍生于IBM Research研发的热扫描探针光刻技术——快速、精准地控制纳米针尖的移动及温度，利用 ...

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传统的光刻工艺中所使用的铬玻璃掩膜板需要由专业供应商提供，但是在研发环境中，掩膜板的设计通常需要经常改变。无掩膜光刻技术通过以软件设计电子掩膜板的方法，克服了这一问题。与通过物理掩膜板进行光照的传 ...

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